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description: 今日は「薄膜」についてお話ししていきますよ(｀･ω･´)ゞ 「薄膜」とは、字のとおり「薄い膜」の事になります イメージとして、メッキなどよりも薄い膜になります 厚さとして数μぐらいかと思います この薄膜を作成する技術の1つが 「蒸着」になります
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# 薄膜について

 2020.10.08

[小話](https://www.chikumaseiki.co.jp/blog/vapor-deposition/tag/小話)

おはようございます

 ここ数日、日が短くなりましたね

安曇野は朝と夕が冷え込んできており、少し物寂しくなりました

 

さて、今日は「薄膜」についてお話ししていきますよ(｀･ω･´)ゞ

 「薄膜」とは、字のとおり「薄い膜」の事になります

 イメージとして、メッキなどよりも薄い膜になります

 厚さとして数μぐらいかと思います

 この薄膜を作成する技術の1つが「蒸着」になります

 

さて、厚さが数μとお話しをしましたが、数μの中には、何層もの別の材料がミルフィーユのように 積み重なっております

 

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色々な特性を作り出す事ができます

因みに、積層の中には、数nmぐらいの薄い膜もあります

数nmと聞いてもパッとしないかもしれませんが、 昔化学の授業で見た事のある↓のように分子式の

![](https://www.chikumaseiki.co.jp/hubfs/Imported_Blog_Media/609ef9_649bb49ada6e42c79fb1607da6f74d2a~mv2.png)

 

C-Cの結合長が約0.15nmほどになりますので、 1nmは、単純に考えると7個のCが連なったぐらいの長さになります！

おお！なんて薄いのだ！！

・・・。私の趣味に走ってしまい申し訳ございません(笑)

 

マスクによく書いてある遮断率試験「PFE」は、0.1μ（100nm）の大きさをどのくらい捕集できるかなを表しているので、数nmとは大変薄い物だとわかりますね(; ･`д･´)

 

その数nmをコントロールしながら製品を作っていると考えると凄いですよね

 

少し話は変わりますが、皆さまは薄膜を形成する手法についてしっていますか？

 実は薄膜を形成する手法はいくつかあります

 

今回は２つ紹介して行きたいと思います

 

1.真空蒸着

　この蒸着日記でも良く出てきます蒸着が一つ目の手法です

　弊社が実施しているのもこの手法になります

　膜厚の制御が下記のスパッタよりも若干良いらしいです

 

2.スパッタリング

　スパッタも薄膜を形成する方法の一種ですが、分類的には、真空メッキの一種だそうです

　メッキと聞くと親しみやすい感じがしますね( *´艸｀)

　また、蒸着よりも回り込みしやすいため、より複雑な基板に蒸着できます

 

この他にもイオンプレーティング方や気相成長法などありますが、私が勉強したらまた記載しますね！

 

それにしても薄膜は奥が深いですね

 

次回　10/15　　更新予定　

茨城県　をお送りします

 

 

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